设备特点
规格参数
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项目指标
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晶圆尺寸4-12寸
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上料模式Cassette自动上下料
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晶圆校准Aligner
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去除效率800 Å*cm²/s @Si
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支持工艺气体NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合气体
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束流强度>100μA @Ar
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束斑尺寸半高宽<5mm
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离子能量60kev
邮箱:sales@isaber-s.com
地址:天津市滨海新区新北路4668号滨海创新创业园22号