设备特点
规格参数
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项目指标
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晶圆尺寸2-12寸及不规则样品
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上料模式手动上下料
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传输系统手动/定制工装
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去除效率60keV：800 Å*cm2/s@SiO2
20keV ：40 Å*cm2/s@SiO2 -
支持工艺气体Ar/SF6/O2/He或其他混合气体
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束流强度＞100μA @Ar
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束斑尺寸半高宽<10mm
SAB9500是一款半自动的超原子束抛光机，可利用超原子束对2-12寸晶圆或不规则样品进行超精密表面抛光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金刚石、LN、LT、光学晶体等。
Email: sales@isaber-s.com
Address: No. 22, Binhai Innovation and Entrepreneurship Park, No. 4668 Xinbei Road, Binhai New Area, Tianjin
